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    1

    薄膜電晶體中緩衝層之成長與銅擴散現象之研究
    • 材料科學與工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 陳鍵煜 指導教授: 顏怡文 李嘉平
    • 銅具有比鋁高之擴散速率,容易擴散至其他材料中形成化合物, 因此必須在銅的上方或下方,以PVD 或者是CVD 的方式沈積一層緩 衝層(Buffer Layer),目前緩衝層材料以Mo 或MoW 為主,…
    • 點閱:286下載:1
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    2

    Sn-58wt%Bi與Sn-0.7wt%Cu無鉛銲料 與Alloy 42基材之界面反應
    • 化學工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 徐若勳 指導教授: 李嘉平 顏怡文
    • 本研究主要以液/固反應偶之形式探討Sn-58 wt% Bi (SB)與Sn-0.7 wt% Cu (SC)兩種無鉛銲料與Fe-42 wt% Ni (Alloy 42)基材在240、270、300、3…
    • 點閱:216下載:2

    3

    金屬基材與介金屬相在無鉛銲料中溶解現象的探討
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 曾堉 指導教授: 李嘉平 顏怡文
    • 銅與銀是目前電子工業中常使用的金屬基材材料,純錫、錫-3.0wt.%銀-0.5wt.%銅、錫-58.0wt.%鉍、錫-9.0wt.%鋅為最具潛力的無鉛銲錫合金。故本研究針對構裝製程中常使用的銅、銀金…
    • 點閱:237下載:8

    4

    反應性濺鍍氮化鈮薄膜及其作為銅導線之阻障層的失效機制研究
    • 化學工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 黃興安 指導教授: 李嘉平
    • 本研究主要以反應性濺鍍來成長NbNx薄膜於銅-矽基材多層膜系統中擴散阻障層失效機制的研究。觀察N2/Ar流量比對NbNx薄膜之沈積速率、N/Nb原子比、結晶結構、電阻率及表面型態之影響。實驗結果顯示…
    • 點閱:360下載:5

    5

    TaNx薄膜之材料與擴散阻障分析
    • 化學工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 邱鴻錡 指導教授: 李嘉平 郭俞麟
    • 以RF濺鍍來成長TaNx薄膜並觀察N2/Ar流量比對TaNx薄膜之沈積速率、N/Ta原子比、電阻率及結晶結構之影響。實驗結果顯示TaNx薄膜的沈積速率會隨著N2/Ar流量比的增加而下降;TaNx薄膜…
    • 點閱:300下載:4

    6

    金-銅-錫三元合金、銀-金-銅-錫四元合金系統相平衡及錫-銅合金與金基材的界面反應
    • 化學工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 蕭憲明 指導教授: 李嘉平 顏怡文
    • 銀-銅-錫三元合金以及銅-錫二元合金是市面上熱門的無鉛銲料,而金常用於PCB中的電鍍材料及基層材料,也是覆晶(flip chip)製程中主要的凸塊下金屬化(under bump metallurgy…
    • 點閱:415下載:15

    7

    反應性濺鍍氮化鋯薄膜及其作為銅導線之阻障層的失效機制研究暨以鎳電極系統作為生物感測器
    • 化學工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 古聖偉 指導教授: 李嘉平
    • 本論文分別就兩個主題進行研究討論:一為反應性濺鍍氮化鋯薄膜及其作為銅導線之阻障之研究,另一為以鎳電極系統作為生物感測器。 有關於擴散阻障層的部分,VLSL技術的發展,常利用銅作為內接線材料,但在低溫…
    • 點閱:952下載:5
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